...– a specified plane used as a reference for measuring flatness or bow of the wafer.
site flatness
– the TIR or FPD measured at a specific location on the wafer surface within the flatness quality area.
TIR (Total Indicator Reading)
– the maximum deviation of the wafer surface from a specified reference plane, including both positive and negative deviations.
Plan Optik ist einer der führenden Hersteller von Wafern für die Verkapselung von MEMS. Als Technologieführer bietet Plan Optik so genannte Carrier für die Prozessierung von Halbleiterwafern an...
Im Fraunhofer IMS führen wir Forschung, Entwicklung und Pilotfertigung mikroelektronischer Lösungen für Anwender aus Wirtschaft und Gesellschaft durch. Zweites Standbein ist die Halbleiterindustrie...
Das Unternehmen entwickelt seit über 40 Jahren Anlagen für die Photovoltaik-, Halbleiter-, Keramik- und Metallindustrie. Es werden verschiedenste Materialien getrennt, gesägt oder geschliffen...