LeviWafer-Greifer

Mit dem Levi Wafer Greifer Transportsystem ist es möglich, sensible Wafer berührungslos zu heben und zu transportieren. Auch das Be- und Entladen von Kassetten oder Stapeln möglich. Der Greifer hält mit Hilfe der Ultraschalllager-Technologie den Wafer auf Abstand und ermöglicht dadurch einen kontaktlosen Transport. Neben Mikro-Kratzern und -Rissen werden Verunreinigungen durch Partikel vermieden, da ohne Druckluft keine Luftverwirbelungen entstehen. Deshalb ist der Greifer auch für den Reinraum sehr gut geeignet. Der LeviWafer-Greifer kann mit einem Single- oder DoublePaddle konstruiert werden. Merkmale des Levi Wafer Greifers: - Berührungslose Aufnahme - Keine Mikrokratzer, Mikrorisse oder Partikel - Geeignet für Standardkassetten - Geringer Energieverbrauch - Individualisierbar nach Kundenvorgaben