Miniatur Lineartisch / Mini Linear Stage (Positioniersystem)

Miniatur Linear Stages, Hub 10 - 80 mm, Repro bis 0.2 µm, Last bis 9 kg, Speed bis 100 mm/s Klein und kompakt Unsere Mikrotische der MT-Serie sind speziell für Anwendungen mit geringem Platzbedarf konstruiert worden. Dabei kommen unterschiedliche Antriebe zum Einsatz – von moderner Piezotechnik bis hin zu Spindelantrieben. Gut kombinierbar Einige Mikrotische lassen sich optimal zu kompakten Mehrachssystemen kombinieren, die mittels unserer Controller der FMC-Serie einfach angesteuert werden. Anwendungen Aufbau kompakter Mehrachssysteme / Aligner, Präzisionsscannen, Optik, Labor und Forschung, Zuführachsen für die Probenpositionierung, Laser, Inspektion, AOI, Halbleiter sowie Messtechnik Produktvarianten - Verfahrweg von 340° bis n x 360° (unbegrenzt) - Wiederholgenauigkeit bis 0.0001° - Geschwindigkeit von 300 - 1500°/s - Last 1 - 15kg - Motoren: AC Servo, DC-Motor, Linearmotor, Piezo Motor, Schrittmotor, Torque Motor - Mit oder ohne Durchlicht / Apertur Optionen - kundenspezifische Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker - Varianten Reinraum: bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage) - Varianten Strahlung: UV, DUV (EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage) - Varianten Magnetismus: magnetisch, magnetarm, magnetfrei - Varianten Vakuum: bis 10E-11 mbar (höher auf Anfrage)