Hubtisch / Lifting Stage (Positioniersystem)
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Z Vertikalachsen, Hub bis 25 mm, Repro bis 0.7 µm, Last bis 45 kg, Speed bis 10 mm/s Für vertikale Positionierung Für hochpräzise vertikale Bewegungen kommen unsere Hubtische zur Anwendung. Sie werden einzeln oder in Kombination mit Lineartischen eingesetzt, wenn Proben oder Bauteile gleichzeitig in der Höhe positioniert werden müssen. Kombinierbar mit PLT-Serie Unsere Hubtische lassen sich dank unseres modularen Achssystems mit den Lineartischen der PLT-Serie sowie den passenden Drehtischen zu komplexen Mehrachssystemen kombinieren – beispielsweise für die Messtechnik, im Bereich Optik oder für die Lasertechnik. Anwendungen Positionierung hoher Lasten in Z, Präzisionsscannen, Optik, Labor und Forschung, Zuführachsen für die Probenpositionierung, Laser, Inspektion, AOI, Halbleiter sowie Messtechnik Produktvarianten - Hub 5 bis 25 mm - Wiederholgenauigkeit bis 0.7 µm - Geschwindigkeit bis 10 mm/s - Last bis 45 kg - Motoren: AC Servo, DC-Motor, Schrittmotor - Mit oder ohne Durchlicht / Apertur (auf Anfrage) Optionen - kundenspezifische Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker - Varianten Reinraum: bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage) - Varianten Strahlung: UV, DUV (EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage) - Varianten Magnetismus: magnetisch, magnetarm, magnetfrei - Varianten Vakuum: bis 10E-11 mbar (höher auf Anfrage)
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