Vermessung der Morphologie, Topographie oder Rauheitsparametern von Oberflächen

Morphologie und Topographie beschreiben eine Oberfläche qualitativ bzw. quantitativ (z.B. durch Rauheitsparameter nach ISO 4288 oder ISO 25178). Die Rasterelektronenmikroskopie (REM) und teilweise auch die Lichtmikroskopie können zwar einen guten qualitativen Eindruck einer Oberflächenmorphologie liefern, jedoch können nur laterale Abmessungen quantitativ ausgemessen werden. Mittels der Profilometrie (Weisslicht-Interferrometrie und Konfokale Laser-Scanning-Mikroskopie) oder auch der Rasterkraftmikroskopie (AFM) können Oberflächen hingegen lateral und vertikal mit hoher Präzision vermessen werden. Aus den messdaten können auch Rauheitsparameter wie beispielsweise Ra/Sa, Rq/Sq oder Rz/Sz nach ISO 4288 oder ISO 25178 berechnet und Oberflächen so auf Basis quantitativer Werte miteinander verglichen werden.