LABOR FÜR PROFILOMETRIE
und Rauheitsmessungen
Mittels optischer Profilometrie kann die Topographie einer Oberfläche berührungslos mit einer vertikalen Auflösung bis in den Nanometerbereich und einer lateralen Auflösung im Bereich von bis zu ~0,2 nm untersucht werden.
2D und 3D Abbildung und Vermessung von Oberflächentopographien
Messung von Rauheitsparameter :
2D-Analysen: ISO 4288 (Ra, Rq, ...)
3D-Analysen: ISO 25178 (Sa, Sq, ...)
Ausmessen von Stufenhöhen, z.B. zur Bestimmung von Schichtdicken
Verschiedene berührungslose und damit zerstörungsfreie Messverfahren zur Wahl:
Konfokale Laser-Scanning-Mikroskopie
Weißlicht-Interferometrie
Fokusvariation
Messung unter Umgebungsbedingungen
Schichtdicken Messungen