Prozessanlagen für die Halbleitertechnik Dienstleister

Ihr Partner für Systemlösungen in der Automatisierung und Produktionstechnik. Leistungsspektrum: Halbleitertechnik | Arbeitstische | Assistenzsysteme | Industriesteuerungen | Robotik | Linertechnik...

...TRUMPF Hüttinger Stromversorgungen für Ihren Plasmaprozess: zum Zünden und Brennen des Plasmas können DC-, Mittelfrequenz- oder Hochfrequenzgeneratoren eingesetzt werden.

...Wir begleiten Sie ganzheitlich: von der Ideenentwicklung über die technische Umsetzung bis hin zur fertigen Automationslösung. ...

Maschinenbauer aus Leidenschaft Präzision in Vollendung: Unser Anspruch ist es, Maschinen zu bauen, die unsere Kunden begeistern.

Wir entwickeln und produzieren Systemlösungen für das Ätzen, Reinigen, Beschichten und Trocknen von (Halbleiter-)Substraten, sowie die hierfür erforderlichen Ver- und Entsorgungssysteme.

Die mechanische Bearbeitung von Silizium sowie von allen harten und spröden Werkstoffen ist unsere Kernkompetenz.

EBARA ist ein weltweit führender Anbieter von Komponenten und CMP Systemen für Halbleiter-, Photovoltaik- und anspruchsvolle Vakuumanwendungen.

Anbieter von Systemen für Plasma- und Ionenstrahlprozesse, wie RIE, PECVD, PVD, IBE, IBSD. Basis sind eigenentwickelte Plasma- und Ionenstrahlquellen unterschiedlicher Konfigurationen.