Metall-Membrankompressoren
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Mikroelektronik und Halbleitertechnik sera Metallmembrankompressoren verdichten sensible und wertvolle Gase absolut kontaminationsfrei. Für Anwendungen in der Mikroelektronik, Halbleitertechnik und Dotiertechnik sind Metallmembrankompressoren die beste Wahl. Durch die nach außen hin nahezu völlige Leckagefreiheit können für Mensch und Umwelt höchst kritische Gase bedenkenlos verdichtet werden. sera Metall-Membrankompressoren werden daher häufig bei Anwendungen mit toxischen Gasen verwendet. Je nach Anforderung und Art des Mediums kommen verschiedene Werkstoffqualitäten bei den das Gas berührenden Komponenten zum Einsatz. Auf diese Weise sind eine hohe Korrosionsbeständigkeit und lange Lebensdauern der gasberührten Teile erreichbar.
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