Dieser Verfahrtisch ist verfügbar als manuelle Version oder motorisiert mit Steuerung über den OptiScan III controller.
50 x 50 mm Verfahrweg
Beladekapazität: ca. 45 kg
XY Wiederholgenauigkeit: +/- 3 microns
Minimum Schritt-Weite: 0,02 µm
Beladekapazität: ca. 60 kg
Verfahrweg: 50 x 50 mm
XY Wiederholgenauigkeit: +/- 3 microns
Minimum Schritt-Weite: 0,02 µm
Beladekapazität: ca. 60 kg