P-750 Piezo-Nanopositioniersystem
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HOCHLAST-NANOPOSITIONIERSYSTEME MIT PIEZOANTRIEB UND DIREKTMETROLOGIE Führungsgenauigkeit 1nm Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen Belastbarkeit bis 10 kg Auflösung <1 nm Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren für höchste Genauigkeit Kurze Ansprechzeit durch Direktantrieb Stellweg 75 μm Überlegene Lebensdauer dank PICMA®Piezoaktoren
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