Der Direkt-LIG Prozess: In 4 Schritten zum präzisen Mikrozahnrad

Der Herstellungsprozess unserer Bauteile ist ein hochkomplexer Ablauf und eine Abwandlung des sogenannten LIGA-Verfahrens. Um hochfeste Mikrobauteile zu produzieren, setzt Micromotion Röntgentiefenlithografie mit anschließender Legierungsgalvanik ein. Lithografische Prozesse ermöglichen maximal präzise Strukturen mit Abmessungen im Mikrometerbereich. Komplexität und Funktionalität der Bauteile lassen sich dabei beinahe beliebig erweitern. Dieser Prozess erfolgt in vier Stufen. Belichtung Die Zahnradstrukturen befinden sich als Absorberschicht auf einer Maske und werden als Strukturen ab einem Millimeter Höhe mit Abweichungen geringer als ein Mikrometer mittels hochenergetischer, kurzwelliger und absolut paralleler Synchrotron-Strahlung in ein Fotoresist übertragen. Entwicklung Durch die anschließende Entwicklung werden dreidimensionale Negativformen erzeugt. Galvanoformung Die Negativformen der Zahnradstrukturen werden mit Nickel-Eisen-Elektrolyt galvanisch abgeformt. Bauteile Nach der galvanischen Abformung der Zahnräder wird die Zahnbreite der Mikrozahnräder durch mechanische Bearbeitung realisiert. Die Zahnräder bestehen aus einem hochfesten Metall, sind korrosionsbeständig, autoklavierbar und können in einem sehr großen Temperaturbereich sowie im Ultra Hochvakuum eingesetzt werden. Extreme Einsatzbedingungen erfordern besondere Herstellungsverfahren. Wir setzen hier neue Standards.