SKY® CDG100D 0,1 ... 1000 Torr / mbar

INFICON SKY CDG100D-Manometer sind die beste Wahl für präzise Gesamtdruckmessung und -steuerung. CDG100D-Messgeräte sind zur besseren Leistung in anspruchsvollen Halbleiter- und Plasmaprozessen auf 100 °C temperaturgeregelt. Sie sind erhältlich für Vollskalenbereiche von 100 mTorr bis 1000 Torr mit allen gebräuchlichen Flanschtypen und Feldbusschnittstellen und liefern ein lineares, vom Gastyp unabhängiges Drucksignal von 0 bis 10 V. Kapazitätsmanometer von INFICON verwenden eine ultrareine korrosionsbeständige Keramikmembran aus Aluminiumoxid. Die Vorteile des Keramiksensors sind eine bessere Signalstabilität, schnellere Wiederherstellung von Atmosphärendruck, kurze Aufheizdauer und eine außerordentlich lange Lebensdauer. INFICON CDGs sind qualitativ hochwertige, kosteneffektive Drucksensoren für anspruchsvolle Halbleiter-, Plasma- und Vakuumanwendungen. Leistungen •Niedrigere Gesamtbetriebskosten, 50 % schnellere Aufheizung und energieeffizienter niedriger Stromverbrauch •Einfache Integration, breites Spektrum an Vollskalen, Flanschen und Schnittstellen, standardmäßig mit zwei Sollwerten •Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar •Diagnoseanschluss für schnelle Wartungsarbeiten •Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit fortschrittlichem Heizkonzept und Messgerätschutz •Keine langfristige Neukalibrierung aufgrund von exzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen •Compliance und Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS Typische Anwendungen •Ätz-, CVD-, PVD- und andere Halbleiterfertigungsprozesse •Chemische und korrosive Prozesse mit hohen Temperaturen •Allgemeine Dünnschicht- und Vakuumprozesse, die Messgerätschutz erfordern Nachrichten mit digitaler EtherCAT-Schnittstelle ab sofort erhältlich!