IC6-Dünnschichtabscheidungs-Controller

Funktionsreicher IC6 bietet höchste Messgenauigkeit. Der IC6-Dünnschichten-Controller bietet ein außergewöhnliches Preis-Leistungsverhältnis durch die Kombination der bewährten Qualität der Dünnschichten-Controller von INFICON mit einzigartigen Ausführungsmerkmalen, die zur Optimierung ihres Prozesses beitragen. Mithilfe unseres Frequenzmesssystems ModeLock erzielt der IC6 stabile, hochauflösende Raten- und Dickenmessungen mit einer, in der Branche unerreichten, Ratenauflösung von 0,00433 Å/s pro 1/10-Sekunde. Kein anderer Quarzkristallcontroller bietet die Leistung, Qualität und Funktionalität des IC6, so dass sich hervorragende Messergebnisse wiederholt erzielen lassen. Merkmale: •Die ModeLock-Technologie von INFICON bietet die stabilsten und höchsten Auflösungsraten und Dickenmessungen, selbst bei sehr niedrigen Raten. •Auto Z verbessert die Dickengenauigkeit, indem das Z-Verhältnis automatisch bestimmt wird, sobald Material abgeschieden wird. •Gleichzeitige Koabscheidung von bis zu sechs Quellen •Auf dem TFT LCD-Farbdisplay können Sie Ihren Prozess schnell und einfach verfolgen •+/-0,0035 Hz über 100-ms-Probe •USB-Datenspeicher für Screenshots, Rezepturspeicherung und zur Messwerterfassung •Leistungsstarke, flexible I/O-Einheit zur Integration in einfache oder komplexe Systeme mithilfe von erweiterbaren Eingängen (28) und Ausgängen (24 Relais, 14 TTL-Ausgänge) sowie Logikfunktionen (100 Logikanweisungen) •6 DAC-Standardausgänge, optional weitere 6 Ausgänge für Quellensteuerung, Raten- oder Dickenüberwachung •Es können bis zu 50 Prozesse mit je 200 Schichten erfasst werden, und die Prozesse können für maximal 10.000 Schichten miteinander verknüpft werden. •Mittelwertbildung für bis zu 8 Sensoren •Optionale 4-Meter-XIU bietet in großen Systemen die Möglichkeit zur Verwendung langer In-vacuo-Kabel •Optionale Ethernet-Kommunikation •RoHS-konform Typische Anwendungen: •Hochwertige optische Beschichtung Abmessungen, ausschließlich Befestigungen (H x B x T): 5.25” x 19” x 13” (133mm x 483mm x 330 mm) Gewicht: 23 lbs (10.5 kg)