Edge™ CDG25D2 mit EtherCAT 0.1 … 1000Torr / mbar

Das INFICON Edge™-Kapazitätsmembran-Vakuummessgerät bietet äußerst genaue Vakuummessungen in rauen Fertigungsumgebungen. Der bewährte, temperaturgesteuerte, korrosionsbeständige und ultrareine Keramiksensor bietet hervorragende Messbereichsstabilität über viele Jahre sowie modernste Nullpunktstabilität. Das Edge-Messgerät wird mit INFICONs patentierter Sensorabschirmung geliefert, die das Gerät vor unerwünschten Prozessnebenprodukten schützt. Die moderne Elektronik ermöglicht eine über einen breiten Bereich konfigurierbare Signalkonditionierung für alle Anwendungen sowie eine optionale EtherCAT™-Feldbus-Schnittstelle. Das innovative Heizkonzept ermöglicht die Berührung der Außenfläche und spart wertvollen Werkzeugbauraum. INFICON Edge ist das kleinste Vakuummessgerät seiner Art. Leistungen •Einfache Integration, EtherCAT, grosse Angebotsbreite an Messbereichen und Flanschen, Standard mit zwei Schaltpunkten •Einfaches "zero"-Kommando, entweder manuell mit Knofdruck oder als digitales Signal, einstellbarer Null-Punkt-offset. •"Diagnostic"- Stecker für schnelle Wartung und Service •Korrosionsbeständiger Keramiksensor •Hervorragende Langzeit-Signalstabilität •Temperaturkompensiert •Kontaminationsgeschützter Sensor •Entspricht den Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS Typische Anwendungen •Ätz, PVD und andere Halbleiter Produktionsprozesse •Speichermedien- und Display-Fertigungs-Equipment •Industrielle Vakuumgeräte •Allgemeine hochgenaue Druckmessung