Verifire™ XL - Senkrechter Interferometer-Messplatz mit großer Apertur

Vollflächige Erfassung planer Meßobjekte über 300 mm (12 in.) – ohne Stitchen. Einfache Handhabung und schnelle Messungen. Das Verifire XL Interferometer ist ein separater Messplatz für das schnelle und zuverlässige Vermessen großer, ebener Oberflächen bis 300 mm Durchmesser, wie z. B. Oberflächen-Reflektoren, Fenster, Tragkörper sowie Halbleiter-Wafer oder Wafer-Chucks. Das vollintegrierte Verifire XL überzeugt vor allem durch seine einfache Bedienung. Es verfügt über einen stabilen Kipp-/Neigetisch der ein wiederholtes Platzieren auch schwerer Proben ohne zusätzliche Haltevorrichtung erlaubt. Dank seiner – inklusive der integrierten Schwingungsisolation – kompakten Größe benötigt das Messgerät nur minimalen Stellplatz.