In-situ-Nanoprobing- und EFA-Lösungen (Electrical Failure Analysis) für SEM, FIB oder Dual Beam.
Die Positionierungsauflösung beträgt < 1 nm. Abnehmbare Plattformen werden einfach (in Minuten) auf dem Probenpositionstisch der meisten REM-Modelle montiert. Die Plattformen können mit bis zu 8 mobilen miBot™ Nanoprobern verwendet werden.
Die Lösungen sind mit fortschrittlichen Mikroskopen kompatibel , die kurze Arbeitsabstände, Neigungswinkel und den magnetischen Immersionsmodus verwenden.
EFA-Anwendungen wie EBAC/RCI, EBIC, EBIRCh werden unterstützt.
Unsere Precisio™-Software bietet einen integrierten Workflow, um die Positionierung der Nanosonden zu ermöglichen, elektrische Testmessungen durchzuführen und die Verarbeitung Messdaten und Berichterstattung zu unterstützen.
Anwendungen:
+ In-situ Material-Charakterisierung
+ Mikro/Nano Handhabung
+ Elektrische Transport-Messungen
+ REM/TEM Probenpräparation
+ MEMS/NEMS-Prüfung
+ Lokale Licht-Kollektion
+ Flüssigkeits-Ausgabe
Typische Proben:
+ Transistoren
+ Via Chain – Teststrukturen
+ Nacktchips oder offene Strukturen
+ MEMS/NEMS
+ 2D Material – Bauteile
+ Nanodrähte und CNTs
+ Meso-Kristalle