Plasma-CVD Beschichtungen

Diamond-like Carbon (DLC) höchster Qualität Plasmaentladung eines Magnetrons PTBMag30 in verschiedenen Zuständen Der Betrieb der Sputterbeschichtungsanlagen erfolgt im vollautomatischen Betrieb mithilfe einer Soft-SPS auf Windows-PC. Die Prozesse für die jeweiligen Beschichtungen sind in die Software implementiert. Nach dem Beschicken der Anlage und Starten des Programms sind keine weiteren Aktivitäten erforderlich. Wahlweise kann in die Prozesse eingegriffen werden. Der korrekte Verlauf des Beschichtungsprozesses wird protokolliert und archiviert. Eine Modifikation der Beschichtungsanlage inklusive Rezipient ist möglich. CAD-Darstellung des Rezipienten (Vakuumbehälters) einer Sputteranlage mit Blindflanschen Sputter-PVD Beschichtungsanlage STARON 80-100 inklusive Einhausung mit abgesetzter Steuer- und Versorgungseinheit Das sind Sputter- und konbinierte Beschichtungsanlagen vom Typ STARON Beschichtungen: Metalle, Metallnitride, Metalloxide, Metallcarbide, Prozesse: Sputter-PVD PCVD , Sputter-Ätzen, Plasma-Ätzen Rezipient: Innenhöhe 1000mm, Innendurchmesser ca. 800mm Steuerung: Soft-SPS unter Windows-Betriebssystem Vakuumerzeugung: Dreistufiges System aus Drehschieber-, Roots- und Turbopumpe Heizung: Strahlungsheizung 5 kW (nötig zum Evakuieren der Anlage) Bis zu vier Magnetronquellen Plasmaquelle für Ätzen, Sputterätzen, Plasma-CVD Plasmageneratoren: DC oder Mittelfrequenz, Leistung 2kW bis 10kW Werkstückaufnahme: Planetengetriebe mit max. 18 Positionen für Zwei- oder Dreifachrotation Werkstückaufnahme alternativ: Einfachrotation - Aufnahme eines Werkstückes bis ca. 500 kg Masse Wasserkühlung erforderlich für Vakuumpumpen und Magnetrons Druckluft erforderlich bei speziellen Ventilen und Vakuumpumpen