Forschung und Entwicklung

Wir erleichtern und beschleunigen die Einführung neuer Verfahren und Materialien in der Mikrofertigung und im Packaging. Starten Sie durch und nutzen Sie unsere Lösungen für die Innovation Ihrer Mikrosysteme: Hochleistungsmaterialien sind für neue Anwendungen unerlässlich. Unsere in Europa einzigartige Lithiumniobat-auf-Isolator-Plattform (LNOI) ermöglicht nichtlineare photonische integrierte Schaltungen (PICs). Wir beherrschen Scandium-dotierte Aluminiumnitrid-Dünnschichten für bleifreie piezoelektrische Sensoren und Aktuatoren. Wir untersuchen auch Siliziumkarbid als Material der Wahl für anspruchsvolle Anwendungen. Innovative Prozesse ermöglichen neue Gerätearchitekturen. Wir kombinieren mehrschichtiges Polyimid und dicke galvanisierte Elektroden für biokompatible und flexible MEMS. Unser bahnbrechendes Fachwissen im Bereich des reaktiven Ionenätzens und der Herstellung von mehrschichtigen nachgiebigen Mechanismen war wegweisend für die Einführung von Silizium in der Uhrenindustrie. Ermöglichende Komponenten. Unsere verpackten Rubidium-Dampfzellen auf Waferebene haben sich für Atomuhren und neue Quantensensoranwendungen bewährt. Wir stellen skalierbare nanoporöse Membranen her, die in die Mikrofluidik für Organ-on-Chips, Ultrafiltration und Biosensorik integriert werden können.