Die MS5547 sind digitale OEM-Sensoren, die den relativen Druck mit einer Auflösung von 24 Bit messen. Diese neue Generation von hochauflösenden Relativdrucksensoren verfügt über eine SPI- oder I²C-Busschnittstelle.
Die reflowfähigen Sensoren sind für den Druckbereich von -200 bis 2200 mbar ausgelegt und mediengeschützt mit einer Silikongelbeschichtung versehen. Neben dem Druck messen sie auch die Temperatur von -40 bis +85 °C. Die Drucksensoren MS5547 bestehen aus einer piezoresistiven Druckzelle und einem ASIC mit Verstärker, A/D-Wandler und digitalem Interface. ASIC und Druckmesszelle sind in einem Keramik-Kunststoffgehäuse (4 x 4 x 4,43 mm³) untergebracht. Eine Schicht aus Silikongel schützt die Elektronik in einem Kunststoffring, der den O-Ring zur Abdichtung an seinem Platz hält.
Der Sensor wandelt das gemessene druck- und temperaturabhängige Signal der Messzelle in ein 24-Bit-Datenwort um. Zusätzlich sind im Sensor 11 individuelle Koeffizienten gespeichert, die die hochgenaue Softwarekorrektur der Druck- und Temperaturmessung durch einen externen Mikroprozessor ermöglichen. Der Sensor kann über I²C oder SPI mit dem Mikroprozessor kommunizieren.