Die Planpoliermaschinen der Typen CompactPolish können Feinstpolituren erzeugen, werden zum Erzeugen feinster Oberflächen genutzt und zum Masspolieren auf Dicke eingesetzt.
Die Werkstücke werden lose in Käfige eingelegt oder mit speziellen Lacken auf scheibenförmige Werkstückträgerplatten geklebt. Die Polierscheibe ist mit einer der Aufgabenstellung entsprechenden Polierfolie belegt. Das Poliermittel wird in Form einer wasser- oder ölbasierten Suspension tropfenweise zugegeben.