Vakuumventile

Vakuumventile von Pfeiffer Vacuum werden bei vielfältigen Lösungen in industriellen Anwendungen und Forschungsbereichen eingesetzt. Um diesen Anforderungen so gut wie möglich gerecht zu werden, sind die Vakuumventile nach der Baugröße, nach der Flansch- und Antriebsart und nach dem eingesetztem Druckbereich eingeteilt. So gibt es handbetätigte Vakuumventile mit ISO-KF Flansch oder CF Flansch sowie elektropneumatisch betätigte Vakuumventile, die zusätzlich noch mit ISO-K Flanschen angeboten werden. Dagegen sind die Vakuumventile mit elektromagnetischer Betätigung aufgrund ihres Wirkungsprinzips nur mit ISO-KF Flansch ausgeführt. Es gibt spezielle Vakuumventile in Ganzmetallausführung für den Einsatz im UHV-Bereich und Vakuumventile, so genannte Gasdosierventile, für die Druckregelung bzw. für die dosierte Gaszufuhr in Vakuumsysteme. Je nach Bedarf können viele dieser Vakuumventile in den Ausführungen Aluminium und Edelstahl geliefert werden.