Konfokalmikroskop KFM xpert

Das Konfokalmikroskop KFM xpert eignet sich aufgrund der einzigartigen Kombination von Konfokalmikroskop und Weißlichtinterferometer sowohl für mikroskopische, stark strukturierte Proben als auch großflächige, superglatte Oberflächen. Der Objektivrevolver bietet bereits in der Grundausstattung Aufnahme für eine anwenderspezifische Kombination von sechs Objektiven. Für jede Topografie und Meßaufgabe steht das geeignete Meßverfahren zur Verfügung. Die konfokale Messung erfasst zuverlässig kleinste Details bis zum physikalischen Limit auch auf stark geneigten und unkooperativen Oberflächen. Eine breite Palette ausgesuchter Objektiven höchster Qualität mit Vergrößerungen zwischen 10x und 150x steht für diese Aufgabe zur Verfügung. Der Weißlichtmodus eignet sich insbesondere für superglatte bis moderat strukturierte Oberflächen bei großem Meßfeld. Auf geeigneten Oberflächen liegt die axiale Auflösung unabhängig von der Objektivvergrößerung im sub-nm Bereich. Sechs Objektive mit Vergrößerungen zwischen 2.5x und 100x, mit Bildfeldern zwischen 7.1x5.3mm und 178x134µm, sind verfügbar. In beiden Meßmodi erfasst das flächenhafte Messverfahren gleichzeitig die Oberflächentopografie und ein omnifokales Helligkeits- bzw. Interferenzkontrastbild.