Horizontalanlagen, kundenspezifisch

Die wichtigsten Features unserer Horizontalanlagen im Überblick: - Wie bei unseren anderen Anlagen auch: Kundenspezifische Auslegung (Größe, Pumpleitung, etc.), Anpassung und Ausstattung der Anlage, wenn gewünscht mit Prozess(en) - Vollautomatischer Bedampfungsprozess mit komfortabler Anlagenbedienung und Steuerung mittels Visualisierung am PC: Eingabe/ Verwaltung sämtlicher Parameter, Rezepte, etc. mit Protokollierung aller wichtiger Daten des Betriebs - Integrierte Plasmaerzeugung durch Glimmvorrichtung zur Oberflächenaktivierung und Aktivierung organischer Precursoren, mit Frequenzgeneratoren 13,54 MHz/ 40 kHz (optional) - Integrierte Gaseinlässe (z. B. für O2) für reaktive Prozesse, bzw. zur Plasmaerzeugung sowie weitere Gaseinlässe (optional) - Integrierte Kältefalle zur Reduzierung der Abpumpzeiten und Erhöhung des Durchsatzes (optional) 1, 2 (oder mehrere) verbaute Verdampferbänke in der Anlage zur Erzeugung dicker Schichten oder zum Aufdampfen verschiedener Materialienin einem Prozess - Substrataufnahme und Verdampferbank separat wechsel- und bestückbar, dabei komplette Einheit ausziehbarer zum einfachen und sicheren Be- und Entladen an der Frontseite - Verdampfung über "Schiffchen“ bzw. "Evaporation Boats" oder Wendeln - Verwendung von zuverlässigen, industrietauglichen Komponenten, Rezipient und Zuleitungen aus Edelstahl