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Produktionsreaktor zur thermischen Atomlagenabscheidung (ALD)
Über dieses Produkt
Hoch kompakter Vakuumreaktor zur thermischen Atomlagenabscheidung (ALD) im industriellen Maßstab.
Edelstahl-Vakuumreaktor zur thermischen Atomlagenabscheidung (ALD), beheizbar bis 220°C, zur Produktion von nano-beschichteten Substraten/Pulvern im industriellen Maßstab. Ein optimiertes Design minimiert die Pumpzeit und reduziert den Präkursoren-, bzw. Spülgasverbrauch. Intuitive Bedienung über modernes HMI. Die Zyklensteuerung kann über eine In-Prozess-Restgasanalyse (RGA) oder zeitgesteuert erfolgen.
INAKON GmbH
Werner-Heisenberg-Straße 28, DE-68519 Viernheim
Lieferung: Europa
Gegründet: 2014
Mitarbeiter: 5-9
Lieferantentyp
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