In-line Beschichtungsanlage

Das System ist eine Mehrkammeranlage und ausgelegt für die Beschichtung großflächiger planarer Substrate. Dadurch dass die Substrate von Kammer zu Kammer transportiert werden, welche durch große Transferventile voneinander getrennt sind, können schrittweise verschiedene Beschichtungsprozesse durchlaufen werden. Die Transportrahmen können dabei Substrate mit einer Fläche von bis zu 5 m² und einer Ausdehnung von bis zu 50 mm in der 3. Dimension tragen. Als Substrate sind Spiegel, Rasierklingen oder ähnliches denkbar. Das erste System dieser Art wurde zur Beschichtung von Bipolar-Platten für Brennstoffzellen oder Elektrolyseure entwickelt (