Komponenten für Halbleiterindustrie

Die technische Keramiken bieten beachtliche Vorteile gegen Metall und Kunstoff. Sie behalten Ihre dimensionale Stabilität im hoch Temperaturbereich (>1000°C). Sie sind hervorragende elektrische Isolatoren. Sie weisen eine hohe Verschleissbeständigkeit hin und entgasen nicht im Vakuum. Ausserdem sind die Keramiken inerte Werkstoffe und Korrosionbeständig gegen Gas, Säure und Plasmaumgebung. Deshalb sind die Keramiken wichtige Werkstoffe bei den Waferbehandlungsverfahren. Microcertec bietet nicht nur keramische Komponenten, sondern auch für Vakuum und Ultrahochvakuum dichte Keramik-Metall- und Glass-Metall-Verbindungen Anwendungen Die Komponenten aus Keramik und die Keramik-Metall-Verbindungen können in nachstehenden Halbleiteranlagen benutzt werden : - Beschichtung- und Ionenimplantationmaschinen - Photoätzenmaschinen - Störungsanalysemaschinen - Elektrostatisches Chuck Produkte Microcertec bietet die folgende keramische Produkte : - Ringe, Platte, Rahmen von Reaktor - Hochstrom Isolatoren - Endeffketoren - Führungen und Stifte - Heizplatte - Isolierplatte für E-Chuck - Keramik-Metall-Verbindungen - dichte gelötete Stecker - dichte hochstrom Durchführungen Werkstoffe Die keramische Werkstoffe sind : - Aluminiumoxid (Alumina) hochrein (von 96% bis 99.8%) - Aluminiumnitrid (AlN) - Siliziumcarbid (SiC) gesintert und CVD - Macor® - Quarz