Tisch REM

Ein Tisch-REM kombiniert die kleine Grundfläche und einfache Bedienung des Lichtmikroskops mit der hohen Auflösung und den analytischen Möglichkeiten des Elektronenmikroskops. Mit der Navigationskamera wird ihre Probe und der zu untersuchende Bereich schnell gefunden und mit den Autofunktionen entsteht ein Bild in kürzester Zeit. Während der SE (für Sekundärelektronen) Detektor ein Bild mit Topographie und grosser Tiefenschärfe ergibt, ist der BSE (für Rückstreuelektronen) der ideale Detektor, um unterschiedliche Zusammensetzung zu zeigen, beispielsweise Fremdpartikel oder Einschlüsse. Beide Detektoren sind standardmässig enthalten. Das Gerät kann im Hochvakuum oder im sogenannten Niedervakuum betrieben werden. Das Hochvakuum ist für hohe Auflösungen bei elektrisch leitenden oder beschichteten Proben ideal. Bei isolierenden Proben wird ein niedrigeres Vakuum in der Kammer erzeugt, sodass die Ladung auf der Oberfläche neutralisiert wird.