Lampengeheizte RTP Anlagen

Es gibt von Koyo Thermo Systems verschiedene Versionen konventioneller, lampengeheizter RTP Systeme mittelgroße, manuelle Anlagen (linkes Bild) vom Typ RLA1200 und vollautomatischen Systeme (rechtes Bild) vom Typ RLA3100, welche vom Aufbau her in etwa der nicht mehr produzierten Serie AST 2800 entsprechen. Auch eine neue Version für 300mm Wafer steht jetzt zur Verfügung (RLA3300). Auf Wunsch können die Anlagen unter Vakuum betrieben werden. Koyo Thermo Systems RTP Anlagen bieten ein einzigartiges Halogenlampenarrangement mit zwei Sätzen gekreuzter Lampen über und unter der Probe. Der Einsatz eines patentierten Temperaturverteilungssystems führt zu einzigartig guten Temperaturgleichmäßigkeiten und Prozeßwiederholbarkeiten und vermeidet die Entstehung von Slip Lines.